一、结构特征
二、概述
M-3型手持式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法**标准并参考美国 A.S.T.M 标准。
仪器成套组成:由M-3主机、选配的四探针探头等二部分组成,也可加配测试台。
仪器所有参数设定、功能转换全部采用轻触按键输入;具有零位、满度自校功能;手动/自动转换量程可选;测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电电池供电,适合手持式变动场合操作使用!
探头选配:根据不同材料特性需要,探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头,以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻;也有球形镀金铜合金探针探头,可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜(ITO膜)或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具,还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头,也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。
详见《四探针探头特点与选型参考》点击进入
仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。
仪器适用于半导体材料厂、器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的手持式导电性能的测试。
三、基本技术参数
1.测量范围、分辨率
电 阻: 0.010~ 50.00kΩ, 分辨率0.001~ 10 Ω
电 阻 率: 0.010~ 20.00kΩ-cm,分辨率0.001~ 10 Ω-cm
方块电阻: 0.050~ 100.00kΩ/□ 分辨率0.001~ 10 Ω/□
2.可测材料尺寸
手持方式不限材料尺寸,但加配测试台则由选配测试台决定如下:
直 径:SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15~130mm。
SZT-C方测试台直接测试方式180mm×180mm。
长(高)度:测试台直接测试方式 H≤100mm。.
测量方位: 轴向、径向均可.
3.量程划分及误差等级
量程(Ω-cm/□) | 2.000 | 20.00 | 200.0 | 2.000k | 20.00k |
电阻测试范围 | 0.010~2.200 | 2.000~22.00 | 20.00~220.0 | 0.200~2.200k | 2.000~50.00k |
电阻率/方阻 | 0.010/0.050~2.200 | 2.000~22.00 | 20.00~220.0 | 0.200~2.200k | 2.000~20.00k/100.0k |
基本误差 | ±1%FSB±2LSB | ±2%FSB±2LSB |
4)适配器工作电源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W,或电池供电
5)外形尺寸:W×H×L=10cm×3.6cm×21cm